Нейторндармен сәулеленген GaAs диэлектрлiк қасиеттерiн күйдiру
Қаралымдар: 79 / PDF жүктеулері: 47
DOI:
https://doi.org/10.32523/2616-6836-2019-129-4-107-112Аңдатпа
Бұл жұмыста нейтрондармен сәулеленген диэлектiрлiк кремний және галий арсенидiнен жасалған конденсаторлар зерттелген. Конденсатор сыйымдылығына әр түрлi типтi дәнекерлердiң (метал-жартылайөткiзгiш) әсерiне талдау жүргiзiлдi. Бұл қалпына келтiрiлген радиациалық ақаулары бар GaAs қабаттары интегралдық сұлбалардың изоляциялық элементтерi ретiнде қолданылуға болатынын көрсетедi.