Люминесценция пленок нитрида кремния, имплантированных азотом
Просмотры: 71 / Загрузок PDF: 55
DOI:
https://doi.org/10.32523/2616-6836-2018-122-1-68-74Аннотация
Исследована фотолюминесценция и электронный парамагнитный резонанс LPCVD-пленок нитрида кремния, имплантированных ионами азота и отожженных при температурах 800 и 1200 ◦ C. Показано, что быстрый термический отжиг в течение 3 мин при
800 ◦ C исходной нитридной пленки приводит к уменьшению сигнала люминесценции, тогда как
отжиг при 1200 ◦ Cприводит к увеличению интенсивности свечения в сине-зеленой области.
Имплантация азота приводит к полному тушению сигнала люминесценции, что вероятнее всего связано с радиационными повреждениями. Однако предварительная имплантация азота дозой 1*10 16 cм −2 усиливает свечение в сине-зеленой области после отжига при 1200 ◦ C. Это подтверждает вклад собственных дефектов аморфного нитрида кремния (N-центров) в люминесценцию в высокоэнергетической области спектра.
