Азотпен имплантталған кремний нитридi қабықшаларының люминесценциясы


Қаралымдар: 71 / PDF жүктеулері: 55

Авторлар

  • Д.О. Мурзалинов
  • Л.А. Власукова
  • Ф.Ф. Комаров
  • А.Т. Акилбеков
  • Ш.Г. Гиниятова
  • А.К. Даулетбекова
  • И. Пархоменко
  • А. Мудрый
  • Ю. Рябикин

DOI:

https://doi.org/10.32523/2616-6836-2018-122-1-68-74

Аңдатпа

Азот ионымен имплантталған және 800 және 1200 ◦ C температурады қыздырылған кремний нитридiнiң
LPCVD қабықшаларының электронды парамагниттi резонансы мен фотолюминесценциясын зерттеу. Бастапқы нитрид қабықшаларын 800 ◦ C температурада 3 минут жылдам термиялық қыздыру люминесценттiк сигналдың төмендеуiне, ал 1200 ◦ C қыздыру көгiлдiр-жасыл аймақта интенсивтi жарқыраудың күшеюiне апарады. Азотты импланттау люминесценция сигналының толық сөнуiн туғызады, бұл радиациялық әсерден болуы мүмкiн. Бiрақ 1200 ◦ C температурада қыздырудан кейiн 1 ∗ 1016 cм −2 дозада азотты алдын-ала имплантациялау көгiлдiр-жасыл аймақта жарқырауын күшейтедi. Бұл аморфты кремний нитридiнiң (N-орталықтарының) iшкi ақауларының спектрдiң жоғары энергетикалық аймағында люминесценцияға қосқан үлесiн растайды.

Жүктеулер

Жарияланды

2022-07-04

Дәйексөзді қалай келтіруге болады

Мурзалинов, Д. ., Власукова, Л. ., Комаров, Ф., Акилбеков, А. ., Гиниятова, Ш., Даулетбекова, . А. ., Пархоменко, И., Мудрый, А., & Рябикин, Ю. (2022). Азотпен имплантталған кремний нитридi қабықшаларының люминесценциясы. Л.Н. ГУМИЛЕВ АТЫНДАҒЫ ЕУРАЗИЯ ҰЛТТЫҚ УНИВЕРСИТЕТІНІҢ ХАБАРШЫСЫ. ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ СЕРИЯСЫ, 122(1), 68–74. https://doi.org/10.32523/2616-6836-2018-122-1-68-74

Журналдың саны

Нөмір 122 № 1 (2018)

Бөлім

Статьи

Most read articles by the same author(s)