Электронды сәуле арқылы шығарылған моносилан плазмасының SiH4 кинетикасы және электрон энергиясының таралуының кремнийдiң бу фазасыда тозаңдануына әсерi


Қаралымдар: 87 / PDF жүктеулері: 86

Авторлар

  • A. Imash
  • S. Kunakov

DOI:

https://doi.org/10.32523/2616-6836-2021-135-2-57-68

Аңдатпа

Моносиланның химиялық кинетикасы SiH4 тiкелей электрон энергиясының таралуына, сонымен қатар сыртқы иондану көзi арқылы электрон бұлтының пайда болуына тiкелей байланысты. Бұл жұмыста электронды
энергияның таралуы Монте-Карло әдiсiмен химиялық кинетикамен ұштастыра есептеледi. Больцман теңдеулерiнiң сәйкес шешiмдерiмен расталған ұсынылған статистикалық есептеулер Максвелл үлестiрiмiмен салыстырғанда химиялық кинетика эволюциясының мүлдем басқа көрiнiсiн бiлдiредi. Электрондардың берiлу коэффициенттерi күштi электр
өрiстерiнде де бағаланады және пайдалы химиялық реакциялардың жылдамдығына баса назар аударылады және химиялық будың тұндыруымен тiкелей байланысты, басқарылатын және бақыланатын Максвеллианнан тыс электрондар энергиясы.

Жүктеулер

Жарияланды

2022-06-30

Дәйексөзді қалай келтіруге болады

Imash , A., & Kunakov , S. (2022). Электронды сәуле арқылы шығарылған моносилан плазмасының SiH4 кинетикасы және электрон энергиясының таралуының кремнийдiң бу фазасыда тозаңдануына әсерi. Л.Н. ГУМИЛЕВ АТЫНДАҒЫ ЕУРАЗИЯ ҰЛТТЫҚ УНИВЕРСИТЕТІНІҢ ХАБАРШЫСЫ. ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ СЕРИЯСЫ, 135(2), 57–68. https://doi.org/10.32523/2616-6836-2021-135-2-57-68

Журналдың саны

Нөмір 135 № 2 (2021)

Бөлім

Статьи