Кристалды Si 3 N 4 -те латенттi тректердiң пайда болу энергиясының ионизациялық жоғалтуының шектi деңгейiн анықтау
Қаралымдар: 94 / PDF жүктеулері: 84
DOI:
https://doi.org/10.32523/2616-6836-2019-129-4-8-14Аңдатпа
Берiлген жұмыс материалдың радиациялық- ынталандырылған аморфизациясы бойынша деректердi
талдау негiзiнде кремнийдiң поликристалды нитридiнде Set латенттi тректерiнiң пайда болу энергиясының
ионизациялық ысырабының мәнiн анықтауға арналған. Үлгiлер Si 3 N 4 (Al) 167 МэВ энергиясымен және 220
МэВ жоғары тығыздығымен Xe ионымен сәулеленген (6 × 10 14 и 2 × 10 14 см −2 , сәйкесiнше). Көлденең қима
геометриясында осы үлгiлердiң құрылымын талдау ПЭМ негiзiнде төменгi шекарасы Set ˜6,7 кэВ/нм деңгейiнде
анықталды