Si 3 N 4 -те тректүзiлу механизмiн сипаттау үшiн термиялық шыңның серпiмсiз моделiнiң қолдануын зерттеу
Қаралымдар: 83 / PDF жүктеулері: 78
DOI:
https://doi.org/10.32523/2616-6836-2019-127-2-48-56Аңдатпа
Бұл жұмыс жоғары энергетикалық ауыр иондармен сәулеленген кремний нитридiнде трек түзiлу процесiн сипаттау үшiн термиялық шыңның серпiмсiз моделiнiң қолданылуын зерттеуге арналған. i-TS бағдарламасының көмегiмен электрон-фононды өзара әрекеттесуiнiң үш коэффицентiн қолданып λ =3, 4,3 және 4,8 нм ұшатын иондары мен атомдарының материалының өзара әрекеттесуiне модельдеу жүргiзiлдi. Тректердiң эксперименталды өлшемдерiнiң
мәндерi теориясынан кристалдық үшiн де, аморфтық Si 3 N 4 үшiн де қатты ерекшеленедi, бұл кремний нитридiндегi эксперименталды нәтижелердi сипаттау үшiн осы тәсiлдiң қолданылмайтындығын көрсетедi.