CCP-PECVD әдісімен синтезделген көміртекті наноқабырға қабықшаларының ылғалдылықты сезу қасиеттері
Қаралымдар: 0 / PDF жүктеулері: 0
Кілт сөздер:
көміртекті наноқабырғалар, ылғалдылық сенсорлары, CCP-PECVD, салыстырмалы ылғалдылық, резистивті сенсорикаАңдатпа
Көміртекті наноқабырғалардан тұратын қабықшалар сыйымдылықты байланысқан плазмалық-химиялық бу фазасынан тұндыру әдісімен синтезделіп, резистивті ылғалдылық сенсорларының белсенді қабаты ретінде зерттелді. Сканерлеуші электрондық микроскопия нәтижелері тігінен бағытталған көміртекті наноқабырға қабаттарының түзілгенін көрсетті. Раман спектроскопиясы ақауларға байланысты және графиттік көміртекке тән жолақтарды анықтап, жапырақша тәрізді көміртекті наноқабырғалар торының қалыптасқанын растады. Ылғалдылықты сезу қасиеттері 10–100% салыстырмалы ылғалдылық аралығында, 27, 50 және 75 °C температураларда зерттелді. Дайындалған сенсорлар қысқа циклдік сынақтар кезінде қайталанатын электрлік жауап көрсетті және температураға айқын тәуелділік байқалды. 27 °C температурада сенсор ең жоғары сезімталдық көрсетті, 100% салыстырмалы ылғалдылықта ол 2,27%-ға жетті. Жауап беру және қалпына келу уақыттары сәйкесінше 87 және 97 секундты құрады. Жұмыс температурасының жоғарылауы сенсор сезімталдығының төмендеуіне алып келді: 50 °C-та сезімталдық 0,49%, ал 75 °C-та 0,22% болды. Бұл құбылысты көміртекті наноқабырғалар бетінде су молекулаларының десорбциясының күшеюімен түсіндіруге болады. Алынған нәтижелер тасымалданған көміртекті наноқабырға қабықшаларын ылғалдылықты бақылауға арналған қарапайым әрі арзан платформа ретінде қолдануға болатынын көрсетеді.
