Study of the Effect of Electron Irradiation on the Morphology and Conductive Properties of Silicon Oxide
Просмотры: 194 / Загрузок PDF: 104
DOI:
https://doi.org/10.32523/2616-6836-2022-139-2-20-25Аннотация
Исследование влияния электронного облучения на морфологию и проводящие свойства оксида кремния





