Мурзалинов Д, Власукова Л, Комаров Ф, Акилбеков А, Гиниятова Ш, Даулетбекова А, Пархоменко И, Мудрый А, Рябикин Ю. Люминесценция пленок нитрида кремния, имплантированных азотом. physast [Интернет]. 4 июль 2022 г. [цитируется по 29 май 2023 г.];122(1):68-74. доступно на: https://bulphysast.enu.kz/index.php/physast/article/view/95