Мурзалинов Д, Власукова Л, Комаров Ф, Акилбеков А, Гиниятова Ш, Даулетбекова А, Пархоменко И, Мудрый А, Рябикин Ю. The photoluminescence of nitrogen-implanted silicon nitride films. physast [Internet]. 2022 Jul. 4 [cited 2024 Nov. 24];122(1):68-74. Available from: https://bulphysast.enu.kz/index.php/physast/article/view/95