Мурзалинов, Д.О., Л.А. Власукова, Ф.Ф. Комаров, А.Т. Акилбеков, Ш.Г. Гиниятова, А.К. Даулетбекова, И. Пархоменко, А. Мудрый, and Ю. Рябикин. “The Photoluminescence of Nitrogen-Implanted Silicon Nitride Films”. BULLETIN OF THE L.N. GUMILYOV EURASIAN NATIONAL UNIVERSITY. PHYSICS. ASTRONOMY SERIES 122, no. 1 (July 4, 2022): 68–74. Accessed May 21, 2024. https://bulphysast.enu.kz/index.php/physast/article/view/95.