Мурзалинов, Д. ., Л. . Власукова, Ф. Комаров, А. . Акилбеков, Ш. Гиниятова, . А. . Даулетбекова, И. Пархоменко, А. Мудрый, and Ю. Рябикин. “The Photoluminescence of Nitrogen-Implanted Silicon Nitride Films”. BULLETIN OF THE L.N. GUMILYOV EURASIAN NATIONAL UNIVERSITY. PHYSICS. ASTRONOMY SERIES, vol. 122, no. 1, July 2022, pp. 68-74, doi:10.32523/2616-6836-2018-122-1-68-74.