Мурзалинов, Д. ., Власукова, Л. ., Комаров, Ф., Акилбеков, А. ., Гиниятова, Ш., Даулетбекова, . А. ., Пархоменко, И., Мудрый, А. and Рябикин, Ю. (2022) “The photoluminescence of nitrogen-implanted silicon nitride films”, BULLETIN OF THE L.N. GUMILYOV EURASIAN NATIONAL UNIVERSITY. PHYSICS. ASTRONOMY SERIES, 122(1), pp. 68–74. doi: 10.32523/2616-6836-2018-122-1-68-74.