Мурзалинов, Д.О., Л.А. Власукова, Ф.Ф. Комаров, А.Т. Акилбеков, Ш.Г. Гиниятова, А.К. Даулетбекова, И. Пархоменко, А. Мудрый, and Ю. Рябикин. 2022. “The Photoluminescence of Nitrogen-Implanted Silicon Nitride Films”. BULLETIN OF THE L.N. GUMILYOV EURASIAN NATIONAL UNIVERSITY PHYSICS. ASTRONOMY SERIES 122 (1):68-74. https://doi.org/10.32523/2616-6836-2018-122-1-68-74.