МУРЗАЛИНОВ, Д. .; ВЛАСУКОВА, Л. .; КОМАРОВ, Ф.; АКИЛБЕКОВ, А. .; ГИНИЯТОВА, Ш.; ДАУЛЕТБЕКОВА, . А. .; ПАРХОМЕНКО, И.; МУДРЫЙ, А.; РЯБИКИН, Ю. The photoluminescence of nitrogen-implanted silicon nitride films. BULLETIN OF THE L.N. GUMILYOV EURASIAN NATIONAL UNIVERSITY PHYSICS. ASTRONOMY SERIES, [S. l.], v. 122, n. 1, p. 68–74, 2022. DOI: 10.32523/2616-6836-2018-122-1-68-74. Disponível em: https://bulphysast.enu.kz/index.php/physast/article/view/95. Acesso em: 28 mar. 2024.