Мурзалинов, Д. ., Власукова, Л. ., Комаров, Ф., Акилбеков, А. ., Гиниятова, Ш., Даулетбекова, . А. ., Пархоменко, И., Мудрый, А., & Рябикин, Ю. (2022). Люминесценция пленок нитрида кремния, имплантированных азотом. ВЕСТНИК ЕВРАЗИЙСКОГО НАЦИОНАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА ИМЕНИ Л.Н.ГУМИЛЕВА СЕРИЯ ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ, 122(1), 68–74. извлечено от https://bulphysast.enu.kz/index.php/physast/article/view/95