Мурзалинов, Д. ., Власукова, Л. ., Комаров, Ф., Акилбеков, А. ., Гиниятова, Ш., Даулетбекова, . А. ., Пархоменко, И., Мудрый, А., & Рябикин, Ю. (2022). The photoluminescence of nitrogen-implanted silicon nitride films. BULLETIN OF THE L.N. GUMILYOV EURASIAN NATIONAL UNIVERSITY. PHYSICS. ASTRONOMY SERIES, 122(1), 68–74. https://doi.org/10.32523/2616-6836-2018-122-1-68-74