Мурзалинов, Д. , Власукова, Л. , Комаров, Ф., Акилбеков, А. , Гиниятова, Ш., Даулетбекова, .А. , Пархоменко, И., Мудрый, А. and Рябикин, Ю. 2022. The photoluminescence of nitrogen-implanted silicon nitride films. BULLETIN OF THE L.N. GUMILYOV EURASIAN NATIONAL UNIVERSITY. PHYSICS. ASTRONOMY SERIES. 122, 1 (Jul. 2022), 68–74. DOI:https://doi.org/10.32523/2616-6836-2018-122-1-68-74.